來(lái)源：杭氧集團

近日，青島杭氧電子氣純氮設備開(kāi)車(chē)一次成功，順利產(chǎn)出產(chǎn)品，純度和產(chǎn)量均達到設計要求。

據悉，該設備配套青島杭氧電子氣大宗氣體項目，為青島芯恩集成電路有限公司提供電子氣級別氮氣，純氮設備產(chǎn)品含氧量要求0.1ppm以下，再經(jīng)過(guò)后處理加工，供應業(yè)主。本套電子氣項目有“爬坡”的特點(diǎn)，用戶(hù)氮氣需求逐漸增加，根據業(yè)主要求，純氮設備具有低負荷、大操作范圍的能力，并采用雙塔流程提升提取率，降低能耗，操作負荷范圍在38%~105%，目前設備運行在40%左右。此外，針對電子氣項目保供要求，做了更多可靠性的配置，后備系統在產(chǎn)品管路波動(dòng)時(shí)可自行補氣，如遇到純氮設備跳車(chē)，甚至控制系統故障，停水斷電，后備系統仍能平穩供氣，確保下游工藝的安全。

隨著(zhù)純氮設備出氮，青島杭氧電子氣項目二階段設備全面投入使用。